真空度降低的原因

滅弧室內(nèi)部材料含氣釋放

滅弧室漏氣：滅弧室密封質(zhì)量、機械沖擊

真空度檢測方法：

火花計法-淮確度低，人為、環(huán)境影響因素大)觀察法一準(zhǔn)確度低，人為、環(huán)境影響因素大交流耐壓法-無法定量，不能作出預(yù)判斷。

真空度測試儀法

真空度在線監(jiān)測：電光變換法、耦合電容法、壓力傳感法。

真空度測試儀基本原理

磁控放電法-高壓脈沖和磁場脈沖同時作用于真空滅弧室，使之內(nèi)部產(chǎn)生脈沖磁控放電現(xiàn)象，產(chǎn)生離子電流，測量離子電流并與己知的電流-真空度曲線比較，得出真空度。

各廠產(chǎn)品差別

離子電流取值方法-峰值方法、積分方法

磁場線圈形式一固定式、纏繞式、對折式。

內(nèi)存曲線數(shù)量一粗分、細(xì)分

測試精度問題

前測量范圍0-10-4Pa，可達(dá)到10級。

現(xiàn)場測試注意事項

滅弧室表面應(yīng)擦拭干凈

磁場線圈盡量貼近滅弧室

連續(xù)重復(fù)測試同一滅弧室，數(shù)據(jù)可能不準(zhǔn)

測試完成后，真空開關(guān)真空度測試儀應(yīng)放電。

測試結(jié)果處理建議

不能完全排除交流耐壓試驗，應(yīng)結(jié)合使用

測試結(jié)果10-4Pa數(shù)量級及以下，合格

測試結(jié)果在10-3Pa數(shù)量級，加強監(jiān)測

測試結(jié)果10-2Pa數(shù)量級及以上，建議更換。